发明名称 FLOW RATE CONTROLLER FOR FLUID
摘要
申请公布号 JPS6426916(A) 申请公布日期 1989.01.30
申请号 JP19870182298 申请日期 1987.07.23
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 HARA MAKOTO
分类号 G05D7/06 主分类号 G05D7/06
代理机构 代理人
主权项
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