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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6437852(A)
申请公布日期
1989.02.08
申请号
JP19870194862
申请日期
1987.08.04
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
OKUMURA YOSHIKI
分类号
H01L21/768;H01L21/31;H01L23/522
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
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