| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6442816(A) |
申请公布日期 |
1989.02.15 |
| 申请号 |
JP19880187087 |
申请日期 |
1988.07.28 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
KUOOUEI WAN |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/324;H01L21/337;H01L29/808;H01L31/107 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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