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发明名称 CONTINUOUS VACUUM TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01116075(A) 申请公布日期 1989.05.09
申请号 JP19870272973 申请日期 1987.10.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOKAI MASAYA;KUROIWA MINORU;EZAKI SHINOBU
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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