| 发明名称 |
PROCEDE MICROLITHOGRAPHIQUE DE REALISATION DE CIRCUITS UTILISANT DES FILMS ORGANIQUES, CONDUCTEURS, SENSIBLES AUX RAYONNEMENTS ELECTROMAGNETIQUES ET AUX PARTICULES CHARGEES ET LES CIRCUITS ET COMPOSANTS OBTENUS PAR CE PROCEDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2613169(B1) |
申请公布日期 |
1989.06.09 |
| 申请号 |
FR19870004075 |
申请日期 |
1987.03.24 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
ANDRE BARRAUD;JOEL RICHARD;MICHEL VANDEVYVER |
| 分类号 |
H01B5/14;H01B13/00;H05K1/09;H05K3/00;H05K3/02;H05K3/10;(IPC1-7):H05K3/02;H01B1/12;C07C121/48;C07C149/26;C07D213/20 |
主分类号 |
H01B5/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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