发明名称 PROTECTIVE FILM OF THIN-FILM ELEMENT AND PRODUCTION THEREOF AND MAGNETIC HEAD
摘要
申请公布号 JPH01150215(A) 申请公布日期 1989.06.13
申请号 JP19870308702 申请日期 1987.12.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWABE TAKASHI;OKAI TETSUYA;ASHIDA EIJI;MORIJIRI MAKOTO;TSUCHIYA MASATOSHI;HANAZONO MASANOBU;SONO YOUSUKE
分类号 H01L21/318;G11B5/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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