| 摘要 |
본 발명은 일반적인 삼염화붕소(BCl) 정제에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 본 발명은 반응 챔버 내 규소 소스(silicon source)를 차단하거나 최소화함으로써, 삼염화붕소(BCl) 생산시 사염화규소(SiCl) 형성을 최소화하거나 및/또는 삼염화붕소 생성물 스트림(product stream)에서 사염화규소를 제거하기 위한 프로세스에 관한 것이다. 나아가, 수소화물 물질이 임의로 존재하는 SiCl를 SiH로 변환시키는데 사용되어 SiCl를 제거를 더 용이하게 한다. 마지막으로, 라이트보일러(light boiler) 제거를 위해 부분적으로 정제된 BCl로부터 SiH를 제거하기 위한 부분증류를 동결분리(freeze separation)로 대체할 수 있다. |
