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发明名称 COLLECTING METHOD OF SUBLIMABLE SUBSTANCE AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH01168302(A) 申请公布日期 1989.07.03
申请号 JP19870327030 申请日期 1987.12.25
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TECHNO ENG CO LTD 发明人 KINOSHITA TAKATOSHI;ISHIBE MASAHIKO;KANEYUKI YUKIO;SHINDO HIROHIKO
分类号 B01D7/02 主分类号 B01D7/02
代理机构 代理人
主权项
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