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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING CATHODE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01215975(A) 申请公布日期 1989.08.29
申请号 JP19880041531 申请日期 1988.02.24
申请人 PUROMETORON TEKUNIKUSU KK 发明人 MIURA SHUJI;YAMAGUCHI TAKAHIRO;SHIODA YOSHIYUKI
分类号 C23C14/36;C23C14/35;H01J37/32 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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