| 发明名称 | 一种单级衍射光栅 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种单级衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及N个透光孔；其中，所述N个透光孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例；如此，不透光薄膜上分布N个透光孔，且透光孔以一定的几率密度呈准斜方格子分布，因此只有0级和+/‑1级衍射，不存在高级衍射，能够消除谐波污染，提高分辨率，进而确保分析结果的准确性，提高了摄谱精度；并且，该光栅能够实现自支撑，因此可以消除衬底带来的损耗；另外，由于该光栅结构上只存在透光和不透光两种区域，这种二值化的结构易于加工。 | ||
| 申请公布号 | CN106094087A | 申请公布日期 | 2016.11.09 |
| 申请号 | CN201610625575.1 | 申请日期 | 2016.08.02 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 史丽娜;刘子维;浦探超;李海亮;牛洁斌;谢常青;刘明 |
| 分类号 | G02B5/18(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人 | 房德权 |
| 主权项 | 一种单级衍射光栅，其特征在于，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及N个透光孔；其中，所述N个透光孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||