发明名称 |
PRODUCTION OF THIN OXIDE FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH01234398(A) |
申请公布日期 |
1989.09.19 |
申请号 |
JP19880059717 |
申请日期 |
1988.03.14 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAKAYAMA RYOICHI;TOMITA YOSHIHIRO;ABE ATSUSHI |
分类号 |
C30B23/02;C01F5/02;C23C14/08;C30B23/08;C30B29/16 |
主分类号 |
C30B23/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|