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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01276674(A) 申请公布日期 1989.11.07
申请号 JP19880106044 申请日期 1988.04.27
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKANO HARUO
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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