| 摘要 |
System zur korrelativen optischen Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie einer Probe (3, 17), das umfasst: – ein SPIM-Mikroskop (1) zur optischen Abbildung der Probe (3), das die Probe (3) entlang einer z-Richtung abbildet und senkrecht dazu beleuchtet, wobei das SPIM-Mikroskop eine Probenbewegungseinrichtung (12), welche die Probe (3) so bewegt, dass verschiedene Probenbereiche, die vor Bewegungsbeginn in unterschiedlichen Lagen zumindest längs der z-Richtung sind, zur Abbildung kommen, und eine Steuereinrichtung (13) aufweist, die Koordinatendaten erfasst, welche einer zumindest in z-Richtung definierten Lage von in der Probe (3) detektierten Strukturen zugeordnet sind, – eine Probenschneidevorrichtung (10, 11), die auf Basis der Koordinatendaten die Probe (3) beschneidet, und – ein Teilchenstrahlmikroskop (15), das die nach dem Beschneiden verbliebene Probe (17) mit Teilchenstrahlmikroskopie abbildet. |
