发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01276661(A) 申请公布日期 1989.11.07
申请号 JP19880104861 申请日期 1988.04.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MAEDA TAKEO
分类号 H01L27/06;H01L21/331;H01L21/8244;H01L21/8249;H01L27/10;H01L27/11;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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