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发明名称 FORMATION OF INSULATING FILM BURRIED TRENCH
摘要
申请公布号 JPH01281747(A) 申请公布日期 1989.11.13
申请号 JP19880111846 申请日期 1988.05.09
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUKI MIEKO
分类号 H01L21/76;H01L21/31 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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