发明名称 CHEMICAL SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0232546(A) 申请公布日期 1990.02.02
申请号 JP19880181828 申请日期 1988.07.22
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 IMAIZUMI SATORU;SAKAMOTO KAZUMICHI
分类号 H01L29/812;H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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