MANUFACTURE OF SILICON CRYSTAL THIN FILM,申请号JP19890057242-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MANUFACTURE OF SILICON CRYSTAL THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH0277116(A)	申请公布日期	1990.03.16
申请号	JP19890057242	申请日期	1989.03.09
申请人	TONEN CORP	发明人	NAGAHARA TATSURO;KAKIGI HISASHI;FUKUI KEITARO
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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