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发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH0290062(A) 申请公布日期 1990.03.29
申请号 JP19880242763 申请日期 1988.09.27
申请人 NEC CORP 发明人 TAKAGI MINORU
分类号 G01R31/26;F16F1/04;F16F1/18;G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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