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发明名称 ION PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02109245(A) 申请公布日期 1990.04.20
申请号 JP19880262048 申请日期 1988.10.18
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NISHIGAMI YASUAKI
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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