发明名称 一种高导电碳晶板及其制备方法
摘要 本发明公开了一种耐高导电碳晶板材及其制备方法,其特征在于所述硬质塑料板和表面沉积厚度20‑1000nm涂层,涂层由以下重量份的原料制成:石墨烯20‑50、NI5‑10、AI5‑10、Ti5‑15、SiC10‑15。本发明还提供了一种方法,包括以下步骤:用去离子水超声清洗硬质塑料板,然后烘干、沉积、高温、退火,借助双频容性耦合等离子体放电技术制成。通过该方法制得的碳晶板材不仅具有耐高导电性,且制备方法简单,原料易得。
申请公布号 CN106231702A 申请公布日期 2016.12.14
申请号 CN201610808601.4 申请日期 2016.09.08
申请人 芜湖桑乐金电子科技有限公司 发明人 马西健
分类号 H05B3/20(2006.01)I;H05B3/10(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I 主分类号 H05B3/20(2006.01)I
代理机构 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人 张苗;罗攀
主权项 一种耐高导电碳晶板,其特征在于由硬质塑料板和涂层组成,涂层由以下重量份的原料制成:石墨烯20‑50、NI 5‑10、AI5‑10、Ti5‑15、SiC10‑15。
地址 241000 安徽省芜湖市鸠江经济开发区富强路58号5#厂房