发明名称 |
一种高导电碳晶板及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种耐高导电碳晶板材及其制备方法,其特征在于所述硬质塑料板和表面沉积厚度20‑1000nm涂层,涂层由以下重量份的原料制成:石墨烯20‑50、NI5‑10、AI5‑10、Ti5‑15、SiC10‑15。本发明还提供了一种方法,包括以下步骤:用去离子水超声清洗硬质塑料板,然后烘干、沉积、高温、退火,借助双频容性耦合等离子体放电技术制成。通过该方法制得的碳晶板材不仅具有耐高导电性,且制备方法简单,原料易得。 |
申请公布号 |
CN106231702A |
申请公布日期 |
2016.12.14 |
申请号 |
CN201610808601.4 |
申请日期 |
2016.09.08 |
申请人 |
芜湖桑乐金电子科技有限公司 |
发明人 |
马西健 |
分类号 |
H05B3/20(2006.01)I;H05B3/10(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I |
主分类号 |
H05B3/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京润平知识产权代理有限公司 11283 |
代理人 |
张苗;罗攀 |
主权项 |
一种耐高导电碳晶板,其特征在于由硬质塑料板和涂层组成,涂层由以下重量份的原料制成:石墨烯20‑50、NI 5‑10、AI5‑10、Ti5‑15、SiC10‑15。 |
地址 |
241000 安徽省芜湖市鸠江经济开发区富强路58号5#厂房 |