发明名称 ATMOSPHERIC CHEMICAL VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02137220(A) 申请公布日期 1990.05.25
申请号 JP19880291385 申请日期 1988.11.17
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SHIRAHATA KAZUHIRO
分类号 C30B35/00;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C30B35/00
代理机构 代理人
主权项
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