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发明名称 METHOD OF SOLID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH02137219(A) 申请公布日期 1990.05.25
申请号 JP19880291438 申请日期 1988.11.17
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 INOUE YASUNORI
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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