发明名称 PIEZOELECTRIC ELEMENT DRIVING TYPE PROBE AND ITS DRIVING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02243907(A) 申请公布日期 1990.09.28
申请号 JP19890063968 申请日期 1989.03.17
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TORII YASUHIRO;YAMAZAKI KENJI
分类号 G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q60/10 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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