| 摘要 |
<p>Ein Drucksensor mit einem keramischen Sensorkörper (1), der einstückig gebildet ist, mit einem Membranabstützteil (3a), in dem eine Membran (2) integriert ist, einem Einspannteil (5) und einem diesen und den Membranabstützteil verbindenden flexiblen Übergangsteil (6). Die Membran (2) ist mit einem Druckwandler (4) vorzugsweise in Form einer Widerstandsbrückenschaltung versehen. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren läßt sich der Drucksensorkörper in einem einzigen Verfahrensschritt formen.</p> |
