处理出自制造电子组件之气态流出物之方法

摘要

本发明涉及一种处理出自制造电子组件之废弃产物的方法。以惰性载气吸引流出气体，随即与一经预热之氧化性气体密切混合，然后在一充分的温度与充足的时间下，令其保持接触而行焚烧，再将氧化生成物以热交换的方式冷却而凝结，收集氧化而生的固体状态生成物，并将残留之气体洗净。沿气体流产生了一个压力降串级。本发明亦涉及一实施此方法之焚烧装置。