发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02271568(A) 申请公布日期 1990.11.06
申请号 JP19890092690 申请日期 1989.04.12
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 SASAKI GORO
分类号 H01L31/10;H01L27/14 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
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