검사 장치는 피검체의 목표 지점 또는 목표 지점으로부터 미리 설정된 거리만큼 떨어진 계측 지점에 레이저를 조사하는 레이저 조사부, 목표 지점에 레이저가 조사된 경우, 계측 지점에서의 정방향 계측 데이터를 생성하고, 계측 지점에 레이저가 조사된 경우, 목표 지점에서의 역방향 계측 데이터를 생성하는 계측부, 및 정방향 계측 데이터와 역방향 계측 데이터의 자기 상관도 및 상호 상관도에 기초하여 피검체의 결함을 판단하는 신호 처리부를 포함한다.
申请公布号
KR20160116925(A)
申请公布日期
2016.10.10
申请号
KR20150045358
申请日期
2015.03.31
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.;KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人
KIM, IL;SOHN, HOON;MOON, YOUNG JUN;JANG, KYUNG WOON;CHUNG, CHANG KYU;CHOI, SEONG WOO;PARK, BYEONG JIN;YANG, JIN YEOL;CHOI, JAE MOOK;HWANG, SOON GYU
