发明名称 |
Photoresist. |
摘要 |
<p>Beschrieben werden photohärtbare und lösungsmittelentwickelbare Zusammensetzungen auf Basis von photopolymerisierbaren (Meth)acrylaten, einem Photoinitiator für (Meth)acrylate, einem organischen polymeren Bindemittel enthaltend freie Carboxylgruppen, das eine Säurezahl von mindestens 60 aufweist, einem blockierten Polyisocyanat Vernetzer, der eine Aufspalttemperatur von mindestens 100°C besitzt, und einem inerten Lösungsmittel in einer solchen Menge, dass die photohärtbare Zusammensetzung giessfähig ist.</p> |
申请公布号 |
EP0402894(A2) |
申请公布日期 |
1990.12.19 |
申请号 |
EP19900111192 |
申请日期 |
1990.06.13 |
申请人 |
CIBA-GEIGY AG |
发明人 |
KURT, MEIER, DR.;LUNN, ROBERT JAMES, DR.;KROEHNKE, CHRISTOPH, DR.;EUGSTER, GIULIANO |
分类号 |
C08F290/06;C08G18/67;C09D4/00;C09D4/06;C09D5/00;C09D11/10;C09D175/00;C09D175/04;G03F1/10;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/033;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/06 |
主分类号 |
C08F290/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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