发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0316258(A) |
申请公布日期 |
1991.01.24 |
申请号 |
JP19890151792 |
申请日期 |
1989.06.14 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OGAWA HISASHI;FUKUMOTO MASANORI |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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