发明名称 |
DISCHARGE REACTION APPARATUS UTILIZING DYNAMIC MAGNETIC FIELD |
摘要 |
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申请公布号 |
KR910000508(B1) |
申请公布日期 |
1991.01.26 |
申请号 |
KR19850006330 |
申请日期 |
1985.08.30 |
申请人 |
ANELVA CORP. |
发明人 |
KIM, KYUNG-SHIK;WILKINSON, OWEN |
分类号 |
C23C16/517;H01J37/32;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C16/517 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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