MEASURING METHOD BY SPECKLE PATTERN INTERFERENCE,申请号JP19890166120-传众专利搜索

发明名称	MEASURING METHOD BY SPECKLE PATTERN INTERFERENCE
摘要
申请公布号	JPH0329805(A)	申请公布日期	1991.02.07
申请号	JP19890166120	申请日期	1989.06.27
申请人	KEYENCE CORP	发明人	AKISHIBA YUUJI;HIRAI MAKOTO
分类号	G01B11/16	主分类号	G01B11/16
代理机构		代理人
主权项
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