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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0334313(A)
申请公布日期
1991.02.14
申请号
JP19890169507
申请日期
1989.06.29
申请人
NEC CORP
发明人
TSUZUKI KOKI
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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