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发明名称
METHOD FOR VAPOR DEPOSITION BY SPUTTERING
摘要
申请公布号
JPH0347958(A)
申请公布日期
1991.02.28
申请号
JP19890179161
申请日期
1989.07.13
申请人
NIPPON STEEL CORP;OSAKA SHINKU KIKI SEISAKUSHO:KK
发明人
TAKAGI YASUO;HIRATA TOYOAKI
分类号
C23C14/34;C23C14/08;C23C14/35
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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