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发明名称
具有长适用期之阳性光阻材料组合物
摘要
本发明系关于能增加本身的适用期的阳性光阻材料组合物,此组合物含有至少一化合物,此化合物系选自一级、二级及三级低脂族氨基化合物或啶。
申请公布号
TW152979
申请公布日期
1991.03.01
申请号
TW077107833
申请日期
1988.11.10
申请人
汽巴–嘉基股份有限公司
发明人
卡尔.汉兹.尼西斯;安德斯.华特勒;狄特马.洛林
分类号
G03G5/00
主分类号
G03G5/00
代理机构
代理人
郑自添 台北巿敦化南路二段七十七号八楼
主权项
地址
瑞士
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