| 发明名称 |
CONTROL MECHANISM FOR MOVEMENT OF TABLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0366541(A) |
申请公布日期 |
1991.03.22 |
| 申请号 |
JP19890198081 |
申请日期 |
1989.08.01 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
KATO KAZUHIRO;KODAMA MASAYOSHI;ASAMI KOICHI |
| 分类号 |
B23Q3/18;B23Q5/22;B23Q5/34;B23Q5/40;B23Q5/44;B23Q5/56;G03F9/00 |
主分类号 |
B23Q3/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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