| 发明名称 |
PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF SEMICONDUCTOR SIC |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0380197(A) |
申请公布日期 |
1991.04.04 |
| 申请号 |
JP19890214588 |
申请日期 |
1989.08.21 |
| 申请人 |
SHOWA DENKO KK |
发明人 |
MORIMOTO SHINGO;SHIGETO MASASHI |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B29/36;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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