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经营范围
发明名称
ION IMPLANTING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0396228(A)
申请公布日期
1991.04.22
申请号
JP19890233718
申请日期
1989.09.08
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KASE MASATAKA
分类号
H01L21/302;H01L21/265;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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