发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03101229(A) 申请公布日期 1991.04.26
申请号 JP19890238507 申请日期 1989.09.14
申请人 NEC CORP 发明人 MIZUSHIMA KAZUYUKI
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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