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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03107481(A) 申请公布日期 1991.05.07
申请号 JP19890245172 申请日期 1989.09.22
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 MATSUDA AKIO;TANABE MASABUMI;HAYASHI TOSHIO
分类号 C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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