发明名称 THIN FILM GAS SENSOR AND PRODUCTION THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH03115965(A) 申请公布日期 1991.05.16
申请号 JP19890254687 申请日期 1989.09.29
申请人 RIKEN CORP;RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 KUNIMOTO AKIRA;TAKAHASHI KAZUHIRO;NAKANOUCHI YUKIO
分类号 G01N27/12 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
地址