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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03139834(A) 申请公布日期 1991.06.14
申请号 JP19890278893 申请日期 1989.10.25
申请人 NEC CORP 发明人 NATORI TOSHIHIRO
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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