发明名称 MIKROWELLENENTLADUNGS-LICHTQUELLENVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE4100462(A1) 申请公布日期 1991.07.18
申请号 DE19914100462 申请日期 1991.01.09
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TAKI, MASAKAZU;YOSHIZAWA, KENJI;NISHIMAE, JUNICHI, AMAGASAKI, HYOGO, JP
分类号 C23C16/48;H01J65/04 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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