MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE,申请号JP19900050664-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号	JPH03253048(A)	申请公布日期	1991.11.12
申请号	JP19900050664	申请日期	1990.03.01
申请人	HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD	发明人	SASAKI MITSUAKI;YAMADA MUNEHIRO;ICHIHARA SEIICHI
分类号	H01L21/60	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
主权项
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