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发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK
摘要
申请公布号 JPH03270841(A) 申请公布日期 1991.12.03
申请号 JP19900069371 申请日期 1990.03.19
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KUNIOKA TATSUYA
分类号 B23Q3/15 主分类号 B23Q3/15
代理机构 代理人
主权项
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