FORMATION OF THIN OXIDE FILM,申请号JP19900091287-传众专利搜索

发明名称	FORMATION OF THIN OXIDE FILM
摘要
申请公布号	JPH03287759(A)	申请公布日期	1991.12.18
申请号	JP19900091287	申请日期	1990.04.04
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	HARAZONO YASUSHI;YAMANISHI KENICHIRO
分类号	C01B13/14;C23C14/08	主分类号	C01B13/14
代理机构		代理人
主权项
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