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发明名称 MASS FLOW RATE CONTROLLER FOR LIQUID RAW MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH0414114(A) 申请公布日期 1992.01.20
申请号 JP19900119321 申请日期 1990.05.08
申请人 RINTETSUKU:KK 发明人 ONO HIROFUMI
分类号 G01F1/88;G05D7/00;G05D7/06;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 G01F1/88
代理机构 代理人
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