发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0437136(A) 申请公布日期 1992.02.07
申请号 JP19900143702 申请日期 1990.06.01
申请人 CANON INC 发明人 KAWAKADO YASUSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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