发明名称 PROCEDE POUR REALISER UN DESSIN FIN SUR UN SEMICONDUCTEUR COMPORTANT UNE DENIVELLATION.
摘要 <P>Procédé pour réaliser un dessin précis sur un élément semiconducteur comportant une dénivellation (30). Le procédé comprend les étapes de revêtement d'un matériau photo-sensible sur la surface du semiconducteur, pré-exposition à un rayonnement ultra-violet du matériau photo-sensible (40) se trouvant dans la zone non dénivelée qui est constituée par la surface du semiconducteur autre que la zone en dénivellation, à travers un premier masque photographique, exposition de la totalité du matériau photo-sensible à travers un second masque photographique avec un dessin donné, à un rayonnement ultra-violet, après enlèvement du premier masque photographique, et développement et enlèvement du seul matériau photo-sensible qui a été exposé au rayonnement ultra-violet dans les étapes de pré-exposition et d'exposition.</P>
申请公布号 FR2666449(A1) 申请公布日期 1992.03.06
申请号 FR19900013811 申请日期 1990.11.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD 发明人 HAN WOO-SUNG
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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