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发明名称 VERFAHREN ZUM ANISOTROPEN AETZEN VON MONOKRISTALLINEN, SCHEIBENFOERMIGEN TRAEGERN
摘要
申请公布号 DE4106287(A1) 申请公布日期 1992.04.30
申请号 DE19914106287 申请日期 1991.02.28
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 7000 STUTTGART, DE 发明人 FINDLER, GUENTHER, DIPL.-ING., 7000 STUTTGART, DE;TRAH, HANS-PETER, DIPL.-MIN. DR., 7410 REUTLINGEN, DE
分类号 C23F1/00;C23F1/24;C30B33/08;G03F1/20;G03F1/22;H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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