| 摘要 |
<p>Bei einer Anordnung zum Messen linearer Abmessungen auf einer strukturierten Oberfläche eines Meßobjektes (6), die aus einem Meßkopf (1) und einem Meßobjektträger (7) besteht, ist der Meßkopf (1) relativ zur Oberfläche des Meßobjektes (6) beweglich angeordnet. Im Meßkopf (1) ist eine Vielzahl von Sensoren (3) angeordnet, die je eine die Oberfläche des Meßobjektes (6) abtastende Tastspitze (4) aufweisen. In jedem Sensor (3) ist ein Meßwertwandler (8) zur Gewinnung von Tastsignalen und eine Stell- und Meßeinrichtung für eine Positionierung der jeweiligen Tastspitze (4) in Richtung senkreckt zur Oberfläche (5) des Meßobjektes (6) vorgesehen.</p> |
